沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品名稱：化學機械磨拋機

產品型號： UNIPOL-1203

產品簡述：自動桌面式磨拋機，CMP平

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UNIPOL-1203化學機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術，整機研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。
2、超精旋轉軸（托盤端跳小于0.01mm）。
3、設有兩個加工工位，可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器，流量速率可視化調整，自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調節壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕。

產品名稱	UNIPOL-1203化學機械磨拋機
產品型號	UNIPOL-1203
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：不需要
主要參數	主機部分
	1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調節檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環:φ127.5mm
	GPC-100A精密磨拋控制儀
	1、載樣盤直徑：?103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm
	自動滴料器
	SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵：4個 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計時范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg
產品規格	1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg

序號	名稱	數量	圖片鏈接
1	鑄鐵磨盤（Ф300mm花盤）	1個
2	不銹鋼磨盤（Ф300mm平盤）	1個
3	載物盤（陶瓷）	1個
4	修盤環（陶瓷）	1個
5	拋光墊（磨砂革、合成革、聚氨酯）	各1片
6	磁力片（帶背膠）	2片
7	研拋底片	2片
8	剛玉研磨微粉	0.5kg
9	石蠟棒	4根
10	二氧化硅懸浮拋光液 2040 W0.05	1瓶

序號	名稱	功能類別	圖片鏈接
1	YJXZ-12攪拌循環泵	（可選）
2	精密測厚儀	（可選）
3	陶瓷研磨盤	（可選）
4	玻璃研磨盤	（可選）
5	磁性樹脂金剛石研磨片	（可選）